用于在容器内部进行等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)内阻挡层的装置,所述装置包括被电磁阀隔离的气路

摘要

一种通过等离子体增强型化学气相沉积，用于在容器(2)的内壁上沉积有阻挡作用的材料的薄层的装置(1)，所述装置(1)包括：处理单元(4)，其容纳容器(2)和装有电磁波生成器(11)；前驱气体入口(17)；注入器(13)，用于将所述前驱气体注入到容器(2)中，所述注入器(13)具有向外打开到容器(2)中的底端(14)和对应的顶端(15)；前驱气体供料管(20)，其使前驱气体入口(17)进入到与注入器(13)的顶端(15)相连的流体流动中；和电磁阀(25)，其插入到前驱气体出口(17)和注入器(13)之间的供料管(20)中，其紧挨着注入器(13)顶端(15)的上游。

主权项

1、一种通过等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)，用于在容器(2)的内壁上沉积有阻挡作用的材料的薄层的装置(1)，所述装置(1)包括：·处理单元(4)，其容纳容器(2)和装备有用于从前驱气体中活化等离子体的电磁波生成器(11)；·前驱气体入口(17)；·注入器(13)，用于将所述前驱气体注入到容器(2)中，所述注入器(13)具有向外打开到容器(2)中的底端(14)和对应的顶端(15)；和·前驱气体供料管(20)，其使前驱气体入口(17)进入到与注入器(13)的顶端(15)相连的流体流动中；所述装置(1)的特征在于，其进一步包括：·电磁阀(25)，其插入到前驱气体出口(17)和注入器(13)之间的供料管(20)中，其紧挨着注入器(13)顶端(15)的上游，所述电磁阀(25)具有一个使得前驱气体通过供料管(20)到容器(13)的打开构型，和一个阻止前驱气体通过的闭合构型；和压力调节流量计(22)，其插入到供料管(20)和前驱气体出口(17)之间，所述压力调节流量计(22)被设置成与电磁阀(25)同步操作以便当电磁阀(25)处于其打开的构型时，所述阀使得前驱气体通过调节流量计(22)从供料管(20)通过而到达注入器(13)，和当所述电磁阀处于其闭合构型时，所述阀阻止前驱气体流过。