阻隔材料气体渗透率的测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种具有双真空密封结构渗透气体取样装置和限流抽气管道的阻隔材料气体渗透率测量装置，包括具有双真空密封结构的渗透气体取样装置、超高真空系统、质谱规和校准装置，其中所述具有双真空密封结构的渗透气体取样装置通过法兰2、真空阀门4与质谱规3、限流抽气管道6、校准装置19－24相连接。该装置能克服现有技术中所存在的测量渗透气体的质谱信号时信噪比不高、难于测量气体渗透率很低的阻隔材料的缺陷，并且具有测量速度快、可测量所有气体对阻隔材料渗透率的特点。

主权项

1、一种具有双真空密封结构的渗透气体取样装置，包括真空室(25)、气体室(37)、真空室法兰(26)、气体室法兰(36)和被测阻隔材料薄膜或薄片(29)，其特征在于：①所述真空室法兰(26)设置有内、外侧密封圈(28、27)，所述真空室法兰(26)和所述气体室法兰(36)通过连接螺栓(35)连接，并把被测阻隔材料薄膜或薄片(29)密封在所述真空室和气体室之间；②所述真空室法兰(26)上设置有真空沟道(31)，所述真空沟道(31)设置在内、外密封圈(28、27)之间；③所述真空沟道(31)与抽气管道(32)、真空阀门(33)和真空泵(34)联通。