离子植入机之法拉弟杯的磁性监控

摘要

本发明提供一种用于对离子植入机之法拉第杯进行磁性监控之方法。本发明包括：真空室及位于真空室内之法拉第杯，此法拉第杯用以在进入真空室之离子束路径内移动；磁性监控器放置于真空室周围，用以区分与法拉第杯相关联之磁场与杂散磁场。