发明名称 盖体及基板收纳容器
摘要 本发明要提供一种盖体及基板收纳容器,在以手动方式开闭时也能减少遗失零件或附属物品等的可能性,即使搬运时产生振动或冲撞也不易产生粒子,在清洗后不需要长时间的乾燥作业。具备有:用来收纳基板的容器主体(1)、以及可自由装卸地嵌入到容器主体(1)的开口正面部(2)的盖体(10)。盖体(10),是由:可自由装卸地嵌入到容器主体(1)的开口正面部(2)的筐体、及配设在筐体的表面,并藉由让根据旋转板(15)的旋转而从筐体的周壁可出没地突出的卡止爪,卡止在容器主体(1)的开口正面部(2)内周,来将筐体上锁的上锁机构(14)、及安装在筐体的表面来覆盖上锁机构的外罩板(22)、以及形成于外罩板(22)而局部与旋转板(15)相对向的操作窗(30)所构成;在上锁机构(14)的旋转板(15)的与操作窗(30)相对向的部分,具备有手动操作手段。
申请公布号 TW200834786 申请公布日期 2008.08.16
申请号 TW096137285 申请日期 2007.10.04
申请人 信越聚合物股份有限公司 发明人 长谷川晃裕;户田顺也
分类号 H01L21/673(2006.01);B65D85/86(2006.01);B65D85/00(2006.01);B65D55/14(2006.01) 主分类号 H01L21/673(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本