将材料涂敷于对象上的装置与方法

摘要

一种将材料涂敷于对象上的装置。第一腔室具有维持在惰性气体的环境。第二腔室具有可在惰性气体与空气之间切换的环境。连接通道连接第一腔室与第二腔室。第一可开启与关闭门设置在第一腔室与第二腔室之间。第二可开启与关闭门设置在第二腔室上。第一夹持具设置在第一腔室中，第一夹持具可拆卸的夹持涂敷器。第二夹持具设置在第二腔室中，第二夹持具可拆卸的夹持涂敷器。移动台设置在第二腔室中，将填满材料、且由第二夹持具所夹持的涂敷器，经由连接通道从第二腔室移至第一腔室。移动台将结束材料的涂敷、且由第二夹持具所夹持的涂敷器，经由连接通道从第一腔室移至第二腔室。

主权项

1. 一种将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于包括：一第一腔室，具有惰性气体的气体环境；一第二腔室，具有可在惰性气体与空气之间切换的气体环境；一通道，连接该第一腔室与该第二腔室；一第一门，设置在该第一腔室与该第二腔室之间，且可在第一位置与第二位置之间动作；一第二门，设置在该第二腔室上以提供从该装置外侧至该第二腔室的途径，且可在第一位置与第二位置之间动作；一第一夹持具，设置在该第一腔室中，该第一夹持具包括可移动的夹持一涂敷器的结构；一移动台，可穿过该第二门，并可穿过该连接通道而在该第一腔室与该第二腔室间移动；以及一第二夹持具，设置在该台上，该第二夹持具包括可移动的夹持一涂敷器的结构。