| 发明名称 | 一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法，采用带有能够调整样品台倾斜角的聚焦离子束设备，包括下列步骤：将需要调整角度的悬空纳米管器件置于聚焦离子束设备样品台上；通过电子束或离子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整离子束工作距离；通过调整样品台的倾斜角改变纳米管器件相对离子束的角度；开启聚焦离子束发生器，对纳米管器件进行离子束扫描照射，纳米管会产生塑性形变，被弯曲并逐渐沿着离子束方向被校直；停止离子束照射。本发明提出的方法稳定可靠，对纳米管器件可多次重复校正，纳米管器件的角度经校正后不存在随时间而变化的不稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN101241062A | 申请公布日期 | 2008.08.13 |
| 申请号 | CN200710060332.9 | 申请日期 | 2007.12.18 |
| 申请人 | 天津大学 | 发明人 | 房丰洲;徐宗伟;张少婧;韩涛;李建明 |
| 分类号 | G01N13/16(2006.01);G12B21/08(2006.01) | 主分类号 | G01N13/16(2006.01) |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 江镇华 |
| 主权项 | 1.一种精确控制悬空纳米管器件方向的方法，采用带有能够调整样品台倾斜角的聚焦离子束设备，其特征在于，包括下列步骤：(1)将需要调整角度的悬空纳米管器件置于聚焦离子束设备样品台上；(2)通过电子束或离子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整离子束工作距离；(3)通过调整样品台的倾斜角改变纳米管器件相对离子束的角度；(4)开启聚焦离子束发生器，对纳米管器件进行离子束扫描照射，纳米管会产生塑性形变，被弯曲并逐渐沿着离子束方向被校直；(5)停止离子束照射。 | ||
| 地址 | 300072天津市南开区卫津路92号天津大学 | ||