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发明名称 METHOD OF FABRICATING POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 EP1955365(A1) 申请公布日期 2008.08.13
申请号 EP20060812370 申请日期 2006.11.02
申请人 EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 UM, PYUNG-YONG
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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