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发明名称 oven apparatus for manufacturing a semiconductor
摘要
申请公布号 KR100851243(B1) 申请公布日期 2008.08.08
申请号 KR20070010326 申请日期 2007.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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