高频悬臂式探针

摘要

一种高频悬臂式探针，具有一针座、一传输线、至少一讯号针及一接地针，各讯号针及接地针具有一固定部、一针尖及自固定部向针尖延伸的一前臂，固定部设于针座，针尖用以点触集成电路晶圆，讯号针的固定部接设于各传输线的金属导线，接地针的固定部电性连接传输线的同轴金属，因此各讯号针可传递对应于各传输线所传送的高频测试讯号至对应点触的电子组件，且接地针的前臂与相邻的讯号针的前臂之间维持有特定间距，可维持各讯号针传递高频测试讯号的特性阻抗。

主权项

1. 一种高频悬臂式探针，包括有：一针座；一传输线，具有至少一金属导线及一同轴金属，该同轴金属包覆该金属导线且电性导通至接地电位；以及，至少一讯号针及一接地针，皆为具导电性的金属材质所制成，各该讯号针及接地针具有一固定部、一针尖及自固定部向针尖延伸的一前臂，各该针尖用以点触电子组件，各该固定部设于该针座，该讯号针的固定部接设于该金属导线，该接地针的固定部电性连接该同轴金属，该讯号针的前臂与接地针的前臂之间维持有特定间距。