发明名称 CORRECTION METHOD OF CONTACT HOLE? IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100850114(B1) 申请公布日期 2008.08.04
申请号 KR20060102852 申请日期 2006.10.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址