形成非挥发性记忆体装置的方法

摘要

一种形成非挥发性记忆体装置的方法，其包括形成第一罩幕图案，其间具有较大的距离。形成顺应性地覆盖第一罩幕图案的距离调节层。第二罩幕图案形成于第一罩幕图案之间的距离调节层上的沟槽内。