前驱体输送系统

摘要

一种前驱体源容器，其包括容器本体、位于容器本体内的通道以及安装至本体表面的阀。内部腔体适合于盛装化学反应物，且通道从本体外侧延伸至腔体。阀调控流经通道的流体。容器具有入口阀及出口阀，可能还包括用于排除内部气体的排气阀。外部气体分配盘可包括至少一个流体置于出口阀与基板反应室之间的阀。每一气体分配阀可位于一平面上，此平面与容器的平表面大致平行，且与容器的平表面间距不超过10cm。容器盖体或壁内的过滤器滤除流经容器的阀的气流。快速连接组件使容器与气体分配盘能快速且容易地连结。