发明名称 UMSETZUNG VON THERMISCHER ENERGIE IN MECHANISCHE BEWEGUNG
摘要
申请公布号 DE60134464(D1) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 DE20016034464 申请日期 2001.03.30
申请人 WAFERMASTERS INC. 发明人 YOO, WOO SIK;YAMAZAKI, TARO
分类号 F03G3/00;F01K27/00;F03G7/06;F28D15/02 主分类号 F03G3/00
代理机构 代理人
主权项
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