一种降低尖晶石铁氧体薄膜材料退火温度的制备方法

摘要

一种降低尖晶石铁氧体薄膜材料退火温度的制备方法，属于信息材料技术领域。本发明在基片上制备尖晶石结构铁氧体薄膜之前，先在基片上制备一层Fe₃O₄缓冲层薄膜，在对尖晶石结构铁氧体薄膜进行退火晶化处理时，利用Fe₃O₄缓冲层发生从Fe₃O₄到Fe₂O₃活性相变所释放的热量促进尖晶石结构铁氧体薄膜的结晶，从而降低尖晶石结构铁氧体薄膜的退火晶化处理温度，使之与现代微电子工艺相兼容；同时，Fe₃O₄缓冲层属尖晶石结构氧化物薄膜，与尖晶石结构铁氧体薄膜晶格匹配，从而使得Fe₃O₄缓冲层的引入不影响尖晶石结构铁氧体薄膜良好的电磁特性。本发明可用于制备集成磁性器件。

主权项

1.一种降低尖晶石铁氧体薄膜材料退火温度的制备方法，通过如下步骤实现：步骤1.在基片上制备Fe3O4缓冲层薄膜；步骤2.在Fe3O4缓冲层薄膜上溅射尖晶石结构铁氧体薄膜；步骤3.对尖晶石结构铁氧体薄膜进行退火晶化处理；其中，所述步骤3.的退火晶化处理条件为：退火环境为空气环境，退火温度为400-500℃，退火时间为0.5-3小时。