发明名称 PROCEDE DE DEPOT D'UNE COUCHE POLYMERE SUR UNE FACE D'UN SUPPORT, COMPORTANT AU MOINS UNE ZONE EN CREUX.
摘要 Une couche polymère (3) est déposée sur une face (5) d'un support (4), ladite face (5) comportant une partie principale plane (5a) et au moins une zone en creux (5b) par rapport à la partie principale plane (5a). La couche polymère (3) est réalisée par au moins les étapes successives suivantes :- dépôt d'une quantité prédéterminée d'un mélange liquide au moins le polymère ou au moins un précurseur dudit polymère sur la partie principale plane (5a) de la face (5) du support (4),- introduction d'au moins une partie du mélange liquide dans la zone en creux (5b) par déplacement d'un cylindre posé sur la partie principale plane (5a) de la face (5)- dépôt d'une quantité supplémentaire de mélange liquide sur la partie principale plane (5a) de la face (5)- et mise en rotation du support (4) selon un axe perpendiculaire au plan de la face (5).
申请公布号 FR2911720(A1) 申请公布日期 2008.07.25
申请号 FR20070000450 申请日期 2007.01.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 PUGET CHRISTIANE;HENRY DAVID
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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