| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterspeicherbauelementes und Halbleiterspeicherbauelement |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102006048877(B8) |
申请公布日期 |
2008.07.24 |
| 申请号 |
DE200610048877 |
申请日期 |
2006.10.16 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
HOFMANN, FRANZ;WILLER, JOSEF |
| 分类号 |
H01L21/8247;G11C16/02;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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