| 发明名称 | 薄膜器件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种薄膜器件制造方法，其特征在于：准备具有多个排出口的涂敷液排出喷嘴；相对地改变基板与所述多个涂敷液排出喷嘴的位置，同时使所述涂敷液只排出到基板上的涂敷区上，在基板上形成构图了的涂敷膜。根据本发明方法制造的薄膜器件借助于利用廉价、产量高、涂敷液使用效率高的制造装置来制造TFT，大幅度削减初期投资及液晶显示装置的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN100405530C | 申请公布日期 | 2008.07.23 |
| 申请号 | CN200310119973.9 | 申请日期 | 1997.05.14 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 汤田坂一夫;下田达也;神户贞男;宫沢和加雄 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);B05C5/00(2006.01);G02F1/136(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 梁永 |
| 主权项 | 1.一种形成薄膜器件的方法，它包括：使头对基板作相对移动而将头在基板上予以定位，所述头具有多个喷嘴；从所述头的多个喷嘴把第一液体材料排出到基板上，以便在基板上形成第一涂敷膜的构图，第一液体材料是包括溶剂和溶质的溶液；并且从第一涂敷膜中去除溶剂，以便在基板上形成第一薄膜。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||