| 发明名称 | 正性光致抗蚀剂和形成光致抗蚀剂的方法 | ||
| 摘要 | 一种包含碱溶性酚醛清漆树脂(A)和光敏剂(B)的正性光致抗蚀剂组合物，所述碱溶性酚醛清漆树脂(A)含有下列通式(I)表示的结构单元(a1)和下列通式(II)表示的结构单元(a2)。 | ||
| 申请公布号 | CN100404573C | 申请公布日期 | 2008.07.23 |
| 申请号 | CN200480020267.1 | 申请日期 | 2004.07.15 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 增田靖男;奥井俊树 |
| 分类号 | C08G8/00(2006.01);C08G14/00(2006.01);G03F7/023(2006.01) | 主分类号 | C08G8/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈长会 |
| 主权项 | 1.一种包含碱溶性酚醛清漆树脂(A)和光敏剂(B)的正性光致抗蚀剂组合物，所述碱溶性酚醛清漆树脂(A)含有下列通式(I)表示的结构单元(a1)和下列通式(II)表示的结构单元(a2)：<img file="C2004800202670002C1.GIF" wi="907" he="495" />其中，R<sup>1</sup>表示1～5个碳原子的亚烷基，R<sup>2</sup>表示氢原子、羟基、或具有1～4个碳原子的烷基，m表示1～3的整数；<img file="C2004800202670002C2.GIF" wi="942" he="474" />其中，R<sup>3</sup>表示氢原子、羟基、或具有1～4个碳原子的烷基，n表示1～3的整数，其中在所述树脂中结构单元(a1)和结构单元(a2)之间的摩尔比在1∶99～80∶20的范围内。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||