倾斜沉积镀膜装置

摘要

一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置，包括安装架、球冠形夹具和楔形块，还有套筒、步进电机、步进电机驱动器和计算机，该安装架将该装置安装在镀膜机的真空室内；该楔形块根据倾斜角度进行设计；该可拆卸套筒用于连接步进电机和球冠形夹具；该步进电机用于控制球冠形夹具的匀速转动；步进电机通过电缆与驱动器相连，驱动器通过电缆与计算机相连，计算机通过已有程序控制夹具的转速。本发明主动引入基片倾角，一次可以镀制多片不同倾角的雕塑薄膜，具有结构简单，紧凑，容易操作的特点。

主权项

1.一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置，其特征在于包括安装架(6)、球冠形夹具(8)和楔形块(9)：所述的安装架(6)的一端具有一对通孔(15、16)与电子枪蒸发镀膜机的真空室内的夹具安装架(3)上的通孔相对应，用于与夹具安装架(3)固定相连，该安装架(6)沿长度方向设有中间线槽(19)和两对侧线槽(18、20)和(17、21)；所述的球冠形夹具(8)之顶有一中心通孔(29)，在该中心通孔(29)的四周中心对称地设有四个通孔(28)，该球冠形夹具(8)上还辐射状地分布有多个线槽(27)；所述的楔形块(9)是两端面为直角三角形的三棱柱体结构，其侧面由两直角面(30、31)和一斜面(10)构成，所述的直角面(30、31)上分别各有螺孔(32、33)；所述的楔形块(9)通过螺钉穿过球冠形夹具(8)上的任一线槽(27)与所述的楔形块(9)任一直角面上的螺孔而固定，该楔形块(9)的斜面(10)用于粘贴待镀基片；所述的球冠形夹具(8)与安装架(6)直接通过螺母(7)穿过球冠形夹具(8)的中心通孔(29)和安装架(6)的中间线槽(19)而固定。