发明名称 |
一种可动镜片调整装置 |
摘要 |
一种可动镜片调整装置,包括底座(1)、镜片座(5)、镜片(6)、凸轮机构(2)、滑动导轨组件(3)和拉伸弹簧(4),其中凸轮机构固定在底座(1)上,镜片座(5)安装在凸轮机构(2)的上方,镜片(6)固定在镜片座(5)上,滑动导轨组件(3)垂直于底座(1)和镜片座(5),对称布置在凸轮机构(2)的两侧,拉伸弹簧(4)安装在底座(1)和镜片座(5)之间。本实用新型调整定位的幅度较大,Z向位移精度较高,能有效的减少补偿安装误差和热效应误差。 |
申请公布号 |
CN201081770Y |
申请公布日期 |
2008.07.02 |
申请号 |
CN200720074897.8 |
申请日期 |
2007.09.21 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
王春兰;朱岳彬;袁志扬 |
分类号 |
G02B7/02(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B7/02(2006.01) |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
1.一种可动镜片调整装置,包括底座(1)、镜片座(5)和镜片(6),其特征在于该可动镜片调整装置还包括凸轮机构(2)、滑动导轨组件(3)和拉伸弹簧(4),其中凸轮机构固定在底座(1)上,镜片座(5)安装在凸轮机构(2)的上方,镜片(6)固定在镜片座(5)上,滑动导轨组件(3)垂直于底座(1)和镜片座(5),对称布置在凸轮机构(2)的两侧,拉伸弹簧(4)安装在底座(1)和镜片座(5)之间。 |
地址 |
200000上海市张江高科技园区张东路1525号 |