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发明名称
摘要
申请公布号 JP2008522033(A) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 JP20070543581 申请日期 2005.11.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/448;C23C16/16;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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