发明名称 |
半导体制造的派工管理系统及方法 |
摘要 |
一种半导体制造的派工管理方法,包括:根据设备和在制品的基本信息,以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息,并将所述扩展信息存储至信息管理单元;以所述派工处理单元,由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息;并且,以所述派工处理单元,由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准;利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作,并提供派工清单。应用本发明方法,可根据在制品交期、设备负荷、制程时间限制以及在制品及设备的运行状况等因素的任意组合灵活地实现派工控制。 |
申请公布号 |
CN101206728A |
申请公布日期 |
2008.06.25 |
申请号 |
CN200610147432.0 |
申请日期 |
2006.12.18 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
马海;周宇;苏远志 |
分类号 |
G06Q10/00(2006.01);G06Q50/00(2006.01) |
主分类号 |
G06Q10/00(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
1.一种半导体制造的派工管理方法,包括:根据设备和在制品的基本信息,以一派工处理单元计算所述设备和在制品的扩展信息,并将所述扩展信息存储至信息管理单元;以所述派工处理单元,由信息管理单元读取设备和在制品的基本信息及扩展信息;并且,以所述派工处理单元,由规则管理单元读取对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准;利用所述派工处理单元根据所述信息管理单元提供的基本信息及扩展信息及所述规则管理单元提供的对应所述基本信息及扩展信息的派工标准及派工基准对所述设备和在制品进行派工操作,并提供派工清单。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |