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发明名称
Top panel for microwave introduction window of plasma processing apparatus
摘要
申请公布号
USD571833(S1)
申请公布日期
2008.06.24
申请号
US20060252840F
申请日期
2006.01.30
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
OTA KINYA;TIAN CAI ZHONG;KITAGAWA JUNICHI
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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