含氧杂环丁烷的化合物、光致抗蚀剂组合物、制备图案的方法、以及喷墨打印头

摘要

本发明披露了含氧杂环丁烷的化合物，包括该化合物的光致抗蚀剂组合物，使用该光致抗蚀剂组合物制备图案的方法，以及喷墨打印头，该喷墨打印头包括所述含氧杂环丁烷的化合物的聚合产物。

主权项

1.由式1、式2中至少一种表示的含氧杂环丁烷的化合物，以及它们的混合物：式1                                                  式2其中：Q₁、Q₂、Q₃、Q₄、Q₅、Q₆、Q₇和Q₈各自独立地为以下基团之一：氢原子、羟基、羧基、取代或未取代的C₁-C₃₀烷基、取代或未取代的C₂-C₃₀链烯基、取代或未取代的C₂-C₃₀炔基、取代或未取代的C₁-C₃₀烷氧基、取代或未取代的C₄-C₃₀脂族烃环、取代或未取代的C₆-C₃₀芳基、取代或未取代的C₂-C₃₀杂芳基、取代或未取代的C₆-C₃₀芳氧基、取代或未取代的C₆-C₃₀酰基、以及取代或未取代的含醚键的单价基团，Q₁、Q₂、Q₃、Q₄、Q₅、Q₆、Q₇和Q₈彼此相同或不同，在Q₁和Q₂中的至少一种中的至少一个氢原子，以及在Q₃、Q₄、Q₅、Q₆、Q₇和Q₈中的至少一种中的至少一个氢原子被氧杂环丁基取代，a为1、2、3或4，b为1、2、3、4或5，c和e各自独立地为1、2或3，d为1或2，f、g和h各自独立地为1、2、3或4，L₁、L₂和L₃各自独立地为以下基团之一：取代或未取代的C₁-C₃₀亚烷基、取代或未取代的C₂-C₃₀亚链烯基、取代或未取代的C₂-C₃₀亚炔基、取代或未取代的C₆-C₃₀亚芳基、取代或未取代的C₃-C₃₀杂亚芳基、以及取代或未取代的含醚键的二价基团，以及n为0或1～10的整数。