金属导线镶嵌结构及其制造方法

摘要

一种金属导线镶嵌结构,其包括:一基底、一第一介电层及复数金属导线,该第一介电层设置于该基底,该第一介电层具有复数沟槽,该复数金属导线镶嵌于该复数沟槽内,其中,该第一介电层包括层叠设置之至少二子介电层,至少一子介电层与该金属导线之间具有空气间隙。本发明还提供一种上述金属导线镶嵌结构之制造方法。