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发明名称 VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN UND GLEICHMÄSSIGEN HEIZUNG EINES HALBLEITERSUBSTRATS DURCH INFRAROTSTRAHLUNG
摘要
申请公布号 DE60133628(D1) 申请公布日期 2008.05.29
申请号 DE20016033628 申请日期 2001.10.12
申请人 QUALIFLOW-THERM 发明人 DUCRET, RENE PIERRE;LAPORTE, FRANCK;PIERRET, BENOIT;SEMMACHE, BACHIR
分类号 H01L21/00;H01L21/205;H01L21/26 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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