发明名称 METHOD FOR MAKING A THIN FILM LAYER
摘要
申请公布号 EP1922433(A2) 申请公布日期 2008.05.21
申请号 EP20060789179 申请日期 2006.08.02
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 HAASE, MICHAEL A.;BAUDE, PAUL, F.;HEMMESCH, ERIC, W.
分类号 C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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