外观检查用基板支持装置

摘要

本发明系有关于一种将基板载置于框架状作业台,以进行基板之检查之外观检查装置的基板支持装置。除了设置在作业台之开口部的支杆及固定销,另外设有用以支撑基板之支撑销及用以固定支撑销之支撑杆,且支撑杆连结于一对输送机之输送带,并且相对于基板进退。巨观检查时支撑杆及支撑销可保持在隐藏于作业台之框状部的退离位置,微观检查时支撑杆及支撑销可从背面支撑基板之缺陷的附近。根据本发明,可抑制微观检查时之基板的振动并且不会对巨观检查造成阻碍。