一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法

摘要

本发明公开了一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法，该系统包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK，该设备主控制系统可发出信号使LOADLOCK及机械手开始运作；机械手将信号反馈给设备主控制系统；光信号发射器可接收设备主控制系统信号，发出一列光信号；光信号接收器可检测光信号发射器发来的光信号；数据分析判断模块可根据光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到设备主控制系统；LOADLOCK可根据设备主控制系统给出的信号进行调整。该方法包括六个步骤。本发明可以检测LOADLOCK的位置偏差，防止在操作过程中硅片的划伤。

主权项

1.一种LOADLOCK监控和自动复位系统，其特征在于，包括：设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK，其中，所述设备主控制系统，可发出信号使所述LOADLOCK及机械手开始运作；所述机械手，将信号反馈给所述设备主控制系统；所述光信号发射器，可接收所述设备主控制系统信号，发出一列光信号；所述光信号接收器，可接收所述设备主控制系统信号，与光信号发射器同脉冲触发并检测所述光信号发射器发来的光信号；所述数据分析判断模块，可根据所述光接收信号器发来的数据进行处理和判断，并反馈到所述设备主控制系统；所述LOADLOCK，可根据所述设备主控制系统给出的信号进行调整。