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发明名称 CONTROLLED ELECTROCHEMICAL POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 EP1920089(A2) 申请公布日期 2008.05.14
申请号 EP20060772263 申请日期 2006.06.06
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 FEENEY, PAUL;BRUSIC, VLASTA
分类号 C25F3/02 主分类号 C25F3/02
代理机构 代理人
主权项
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