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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung dünner Schichten
摘要
申请公布号 DE10163657(B4) 申请公布日期 2008.05.08
申请号 DE2001163657 申请日期 2001.12.21
申请人 GEDIG, ERK 发明人 GEDIG, ERK
分类号 G01B11/06;G01N21/552 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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