| 发明名称 | 在布线板上形成布线的布线形成系统和布线形成方法 | ||
| 摘要 | 一种布线形成系统，包括：采用根据关于布线板的设计数据产生的曝光数据直接曝光未曝光板的无掩模曝光单元；采用曝光数据和由无掩模曝光单元曝光并显影的板的图像数据测试显影之后的板的显影后检查单元；腐蚀显影板的腐蚀单元；以及采用根据设计数据和由腐蚀单元腐蚀的板的图像数据产生的腐蚀检查数据测试形成在腐蚀板上的腐蚀图形的腐蚀后检查单元。 | ||
| 申请公布号 | CN100386854C | 申请公布日期 | 2008.05.07 |
| 申请号 | CN03138379.3 | 申请日期 | 2003.05.28 |
| 申请人 | 新光电气工业株式会社 | 发明人 | 赤川雅俊;关川和成;若林信一 |
| 分类号 | H01L21/48(2006.01);H01L21/71(2006.01);H01L21/66(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/60(2006.01);H05K3/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/48(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 于静;杨晓光 |
| 主权项 | 1.一种用于在布线板上形成布线的布线形成系统，包括：采用根据所述布线板的设计数据产生的曝光数据直接曝光未曝光板的无掩模曝光单元；采用所述曝光数据和由所述无掩模曝光单元曝光并显影的所述板的图像数据测试显影之后的所述板的显影后检查单元；腐蚀所述显影板的腐蚀单元；采用根据所述设计数据和由所述腐蚀单元腐蚀的所述板的图像数据产生的腐蚀检查数据测试形成在所述腐蚀板上的腐蚀图形的腐蚀后检查单元；以及根据所述设计数据和所述单元布线板上要安装或形成的所述电子元件在所述腐蚀板上的位置产生表示所述布线应当如何改变以实现所希望的互联图形的动态路径选择规则数据的动态路径选择规则数据产生单元。 | ||
| 地址 | 日本长野县 | ||