制程设备气流多段循环系统

摘要

本实用新型提供一种制程设备气流多段循环系统，其内设有一处理区；其中，所述处理区内设有至少一出气部及至少一吸气部，所述出气部延伸有多个出气支部分布在处理区内，而吸气部延伸有多个吸气支部分布在处理区内；所述出气支部上设有多个出气孔，而所述吸气支部上设有多个吸气孔，且出气部的出气支部与吸气部的吸气支部相互间隔设置。本实用新型制程设备气流多段循环系统内每一出气部由出气支部出气孔所喷出的气体，由吸气部吸气支部的吸气孔吸入，形成一行程小但密集的气流循环系统，可确保处理区内各处的气流流量均匀，且气流的降温效果相同，可均匀有效散热，降温散热及制程效果较好。

主权项

1.一种制程设备气流多段循环系统，其内设有一处理区；其特征在于：所述处理区内设有至少一出气部及至少一吸气部，所述出气部延伸有多个出气支部分布在处理区内，而吸气部延伸有多个吸气支部分布在处理区内；所述出气支部上设有多个出气孔，而所述吸气支部上设有多个吸气孔，且出气部的出气支部与吸气部的吸气支部相互间隔设置。