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发明名称 PROCESSING SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1230664(B1) 申请公布日期 2008.05.07
申请号 EP20000978613 申请日期 2000.11.14
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 BAILEY, ANDREW, D., III;SCHOEPP, ALAN, M.;HEMKER, DAVID, J.;WILCOXSON, MARK, H.
分类号 H01L21/3065;C23C16/507;H01J37/32;B05D7/24 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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