发明名称 正型感光性组成物、用于该正型感光性组成物中之聚合物化合物、制造该聚合物化合物之方法、用于该聚合物化合物之制造中的化合物、及使用该正型POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, POLYMER COMPOUNDS FOR USE IN THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, MANUFACTURING METHOD OF THE POLYMER COMPOUNDS, COMPOUNDS FOR USE IN THE MANUFACTURE OF THE POLYMER COMPOUNDS, AND PATTERN- FORMING METHOD USING THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, POLYMER COMPOUNDS FOR USE IN THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, MANUFACTURING METHOD OF THE POLYMER COMPOUNDS, COMPOUNDS FOR USE IN THE MANUFACTURE OF THE POLYMER COMPOUNDS, AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE POSITIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要 本发明揭示一种正型感光性组成物,其包括:一种在聚合物化合物终端处具有酸可分解结构之聚合物化合物;及一种在以光似射线或辐射照射时可产生酸之化合物。
申请公布号 TW200819917 申请公布日期 2008.05.01
申请号 TW096134654 申请日期 2007.09.17
申请人 富士软片股份有限公司 发明人 涉谷明规;加藤贵之
分类号 G03F7/039(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/039(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本
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