| 主权项 |
1.一种装载晶圆之运送车,包括: 一底板,具有一上表面以及一下表面; 一框架,固定于该底板之该上表面; 一活动把手,配置于该框架上; 多数个车轮,配置于该底板之该下表面; 一置晶室,位于该框架中,用以放置至少一晶舟,而 该晶舟内可存放多数个晶圆;以及 至少一避震器,配置于该置晶室之底部,且该置晶 室藉由该避震器而平置于该底板之该上表面。 2.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车, 其中该避震器系选自弹簧、阻尼器以及吸震垫其 中之一。 3.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车, 更包括至少一悬吊器,配置于该置晶室的顶部,且 该置晶室藉由该悬吊器悬吊至该框架。 4.如申请专利范围第3项所述之装载晶圆之运送车, 其中该悬吊器系选自弹簧以及阻尼器其中之一。 5.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车, 更包括一煞车器,配置于该些车轮的邻侧,该煞车 器藉由该活动把手之操控而作动,以使该煞车器接 触该些车轮。 6.如申请专利范围第5项所述之装载晶圆之运送车, 其中该活动把手适于受力而下压,并藉由一连杆或 一煞车线而连接至该煞车器。 7.如申请专利范围第6项所述之装载晶圆之运送车, 其中该些车轮受该煞车器之锁固而保持不动,之后 该煞车器受该活动把手之下压而解除煞车。 8.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车, 更包括一限速器,配置于该底板上,该限速器藉由 感测该些车轮的转速是否超过一预设値而作动,并 以一连杆或一煞车线连接至该煞车器,以使该煞车 器接触该些车轮。 9.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车, 其中该底板之材质为金属。 10.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车 ,其中该框架之材质为金属。 11.如申请专利范围第1项所述之装载晶圆之运送车 ,其中该置晶室的材质为金属。 图式简单说明: 图1绘示本发明第一实施例之一种装载晶圆之运送 车的示意图。 图2绘示本发明第二实施例之一种装载晶圆之运送 车的示意图。 图3绘示图2之装载晶圆之运送车的作动示意图。 图4绘示本发明第三实施例之一种装载晶圆之运送 车的示意图。 图5绘示图4之限速系统的作动示意图。 |
