| 发明名称 |
Herstellungsverfahren eines Halbleiterbeugungsgitters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60319314(D1) |
申请公布日期 |
2008.04.10 |
| 申请号 |
DE2003619314 |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORP. |
发明人 |
NESNIDAL, MICHAEL P.;FORBES, DAVID V. |
| 分类号 |
G02B6/13;H01S5/12;G02B5/18;G02B6/122;G02B6/124;H01L21/20 |
主分类号 |
G02B6/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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