| 发明名称 | 用于设计精细图案的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种用于设计精细图案的方法和设备，可以将精细图案完全地转移到物体上。所述方法包括：读取用于曝光的精细图案的原始数据；将精细图案划分为不需要修正的第一图案和需要修正的第二图案；通过形成与第二图案维持第一距离D1的辅助图案来修正精细图案；通过运行包括第一辅助图案和第二辅助图案的仿真程序来估计要转移到目标物体上的精细图案；以及将所估计的精细图案与用于曝光的精细图案的原始数据进行比较，并且如果所估计的精细图案和用于曝光的精细图案之间没有差别，将已修正的精细图案指定为最终精细图案。 | ||
| 申请公布号 | CN101158807A | 申请公布日期 | 2008.04.09 |
| 申请号 | CN200710085637.5 | 申请日期 | 2007.03.01 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 申在弼;金英一;柳文铉;李钟培 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);G06F17/50(2006.01) | 主分类号 | G03F1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 戎志敏 |
| 主权项 | 1.一种设计精细图案的方法，包括：读取用于曝光的精细图案的原始数据；将精细图案划分为不需要修正的第一图案和需要修正的第二图案；通过形成与第二图案维持第一距离D1的辅助图案来修正精细图案；通过运行包括第一辅助图案和第二辅助图案的仿真程序来估计要转移到目标物体上的精细图案；以及将所估计的精细图案与用于曝光的精细图案的原始数据进行比较，并且如果所估计的精细图案和用于曝光的精细图案的原始数据之间没有差别，指定已修正的精细图案作为最终精细图案。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||