| 发明名称 | 氮化钛去除方法 | ||
| 摘要 | 一种从衬底表面去除氮化钛的方法，包括：提供包括至少一种反应物的过程气体，反应物选自含氟物质和含氯物质；使过程气体富集至少一种反应物的至少一种活性物质以形成富集的过程气体，其中富集在第一个位置处进行；提供衬底温度大于50℃的衬底，其中衬底表面至少部分涂有氮化钛；和使衬底表面上的氮化钛与富集的过程气体接触以从衬底表面上挥发和去除氮化钛，其中接触在不同于第一个位置的第二个位置处发生。 | ||
| 申请公布号 | CN100378911C | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200510087526.9 | 申请日期 | 2005.07.22 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | 吴定军;齐宾;E·J·小卡瓦基 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/3213(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/28(2006.01);C23F1/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 郭广迅;段晓玲 |
| 主权项 | 1.一种从衬底表面去除氮化钛的方法，所述方法包括：提供包括至少一种反应物的过程气体，反应物选自NF3、NClF2、NCl2F、F2、ClF3、ClF、SF6、BrF3和BF3；使过程气体富集至少一种反应物的至少一种活性物质以形成富集的过程气体，其中富集在第一个位置处进行；提供衬底温度大于90℃的衬底，其中衬底表面至少部分涂有氮化钛；和使衬底表面上的氮化钛与富集的过程气体接触以从衬底表面上挥发和去除氮化钛，其中接触在不同于第一个位置的第二个位置处发生。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||