发明名称 激光光斑实时监测与光路自动准直的装置
摘要 一种激光光斑实时监测与光路自动准直的装置,该方法是利用单个CCD摄像头采集激光光斑,压电陶瓷电动镜架自动准直光路,利用计算机进行光斑处理和实时监控。本实用新型装置监测光斑的频率约10Hz,反馈控制频率约1Hz,完全可以降低和消除抖动周期在1秒以上的光斑飘动,准直后的激光空间稳定性<0.5微弧度,本实用新型具有结构简化、精度高、速度快和效率好的特点。
申请公布号 CN201044014Y 申请公布日期 2008.04.02
申请号 CN200720068692.9 申请日期 2007.04.06
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 尉鹏飞;刘军;李小芳;陈晓伟;刘鹏;曾志男;李儒新
分类号 G02B27/30(2006.01);G05B19/04(2006.01) 主分类号 G02B27/30(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1.一种激光光斑实时监测与光路自动准直装置,特征在于包括:装有第一45°全反镜(M1)的第一压电陶瓷电动镜架(2)和装有第二45°全反镜(M2)的第二压电陶瓷电动镜架(3),一驱动器(4)的输出端分别连接所述的第一压电陶瓷电动镜架(2)和第二压电陶瓷电动镜架(3)的控制端,该驱动器(4)的输入端连接计算机(6)控制输出端,一待准直的激光光束(1)照射在所述的第一45°全反镜(M1)上,在所述的第一45°全反镜(M1)和第二45°全反镜(M2)的之间且靠近第一45°全反镜(M1)的光路上设有第一分束片(9),在所述的第二45°全反镜(M2)的反射光束方向设置第一全反射镜(7),在该第一全反射镜(7)的反射光路上设置第二分束片(10),该第二分束片(10)的反射光束方向有第二全反射镜(8),在第二全反射镜(8)的反射光束和第一分束片(9)的反射光束的交叉位置有一CCD摄像头(5),该CCD摄像头(5)的输出端与所述的计算机(6)的输入端相连,所述的计算机(6)装有图像采集卡和监测控制程序。
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