输送装置

摘要

本发明提供一种以气相将固体前驱化合物输送至反应器之输送装置。此等输送装置包含由固体前驱化合物与配置于该固体前驱化合物上之一层包封材料所组成之前驱组成物。本发明亦提供一种将饱和有前驱化合物之载送气体输送至此等 CVD 反应器之方法。