基板处理装置

摘要

一种基板处理装置包括一处理腔室、一固定框架、一馈入单元及一供应单元。一基板安装至该固定框架，该供应单元与该基板之各别侧面间隔开以向该基板供应处理流体，且该馈入单元平行于该基板之一纵向方向输送该固定框架。该处理经自动执行以使该基板之损失得以减少且该基板得以被有效处理。