溅镀靶组件及其制法

摘要

本发明系关于一种制造结合于一底板之一溅镀靶组件之方法。该方法包括将一靶结合于一高强度底板，及进一步使用摩擦搅拌焊接制程在该靶与该底板之间建立一真空密封。