| 发明名称 |
FILM FORMING APPPARATUS |
| 摘要 |
<p>FILM FORMING APPARATUS</p> |
| 申请公布号 |
SG140443(A1) |
申请公布日期 |
2008.03.28 |
| 申请号 |
SG20030025095 |
申请日期 |
2001.05.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
AKIMOTO MASAMI;DEGUCHI YOICHI |
| 分类号 |
C23C16/54;H01L21/00;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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