图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法

摘要

一种图形形成方法，通过在基板(11)上配置液体材料的液滴来形成线性膜图形(W1)、(W2)，在基板(11)上排列设定多个形成膜图形的图形形成区域(R1)、(R2)，在多个图形形成区域(R1)、(R2)中，设定从膜图形的线宽方向侧部形成的第1图形形成区域(R1)、和从膜图形的线宽方向部形成的第2图形形成区域(R2)，在第1、第2图形形成区域(R1)、(R2)中分别配置液滴，形成膜图形(W1)、(W2)。根据本发明的图形形成方法，在从多个排列的喷出喷嘴中分别喷出液滴来形成膜图形时，即使膜图形间距在设计值上进行各种变更也可高效形成膜图形。

主权项

1.一种图形形成方法，通过在基板上配置液体材料的液滴来形成膜图形，其特征在于，在所述基板上排列设定多个形成所述膜图形的图形形成区域，在所述多个图形形成区域中，设定从所述膜图形的侧部形成的第1图形形成区域、和从所述膜图形的中央部形成的第2图形形成区域，在所述第1、第2图形形成区域中分别配置所述液滴，形成所述膜图形，具有：形成在所述第1图形形成区域中形成的第1膜图形的一方侧部的工序；在形成所述第1膜图形的另一方侧部的同时、形成在所述第2图形形成区域中形成的第2膜图形的中央部的工序；和在形成所述第1膜图形的中央部的同时、形成所述第2膜图形的一方及另一方中任一侧部的工序。