发明名称 |
集成输出直波导的电泵浦微腔激光器 |
摘要 |
本发明公开一种集成输出直波导的电泵浦微腔激光器,可以将微腔激光器中的激光由集成的输出直波导的端口输出。该器件是基于耳语回廊模式原理产生激光振荡的微腔激光器。器件由管芯和热沉两部分组成,管芯是在半导体量子阱激光器外延片上经过光刻、腐蚀、氧化及电子束蒸发等复杂的器件工艺后完成的微腔激光器芯片。管芯的中心是一个微碟或微环,在微碟或微环的边缘沿切线方向集成一个直波导,宽度为数个微米,长度为数十-数百微米,厚度与微碟或微环的厚度一致。在微碟或微环的表面制备有欧姆接触金属薄膜,采用焊料将管芯和热沉焊接在一起。该器件具有结构简单、输出耦合效率高的优点,满足大规模光集成器件研究的需要。 |
申请公布号 |
CN101150242A |
申请公布日期 |
2008.03.26 |
申请号 |
CN200610017205.6 |
申请日期 |
2006.09.22 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
宁永强;秦莉;孙艳芳;李特;崔锦江;刘云;刘星元;王立军 |
分类号 |
H01S5/00(2006.01) |
主分类号 |
H01S5/00(2006.01) |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 |
代理人 |
赵炳仁 |
主权项 |
1.集成输出直波导的电泵浦微腔激光器,该器件包括管芯和热沉两部分部分,通过焊料将两者焊接在一起,其特征在于该器件包括热(1)、衬底(2)、直波导(3)、与微碟(4)、欧姆接触薄膜(5)、微环(6);管芯的中心是一个微碟或微环,由此分为两种结构;其一是直波导(3)与微碟(4)相连接,并沿微碟(4)切线方向延长;微碟(4)直径在十几微米-数十微米之间,厚度为数个微米,直波导(3)宽度为数个微米,长度为数十-数百微米,厚度与微碟(4)相同;其二是直波导(3)与微环(6)相连接,并沿微环(6)切线方向延长;微环(6)外径和内径在十几微米-数十微米之间,厚度为数个微米,宽度为数个微米;直波导(3)宽度为数个微米,长度为数十-数百微米,厚度与微环(6)相同。 |
地址 |
130031吉林省长春市东南湖大路16号 |