光学定位测量装置

摘要

本发明涉及一种发送无谐波扫描信号的光学定位测量装置。该装置由设有包括比例刻度标记的比例刻度的比例尺和一个相对于比例尺可在至少一个测量方向上移动的扫描单元构成，所述比例-刻度标记利用比例尺的刻度周期周期性设置在测量方向上。扫描单元包括一个光源，至少一个由利用扫描-刻度周期沿测量方向周期性设置的扫描刻度标记组成的周期性扫描刻度，其中，比例刻度周期和扫描刻度周期彼此不同，还包括一个检波器设置，借助于该设置在比例尺和扫描单元相对移动的情况下，测定至少一个周期性扫描信号，该信号从利用带状图案周期P周期性游标带状图案的扫描中在检波器结构的检波平面上产生。比例刻度或者扫描刻度各自由两个以上与测量方向垂直相邻的分度轨组成，其中，每个分度轨中的刻度标记各自具有与其额定位置确定的和不变的偏移距离。与偏移距离相邻的分度轨不同，从而通过所选择的偏移距离从扫描信号中滤除不希望的谐波部分。

主权项

1.光学定位测量装置，该装置由下列部件构成：-具有比例刻度的比例尺，带有利用比例刻度周期(TPM)周期性设置在测量方向(x)上的比例刻度标记，-相对于比例尺可在至少一个测量方向(x)上移动的扫描单元，其中包括-一个光源，-至少一个周期性扫描刻度，由利用扫描刻度周期(TPA)沿测量方向(x)周期性设置的扫描刻度标记构成，其中，比例刻度周期(TPM)和扫描刻度周期(TPA)彼此不同，以及-一个检波器结构，借助于该设置在比例尺和扫描单元相对移动的情况下，测定至少一个周期性扫描信号，该信号从利用带状图案周期P周期性游标带状图案的扫描中在检波器设置的检波平面上产生，其特征在于，比例刻度(10.1)或者扫描刻度(23.1)各自包括两个以上与测量方向(x)垂直相邻的分度轨(311.1，...311.9)，并且每个分度轨(311.1，...311.9)中的刻度标记各自具有与其额定位置确定的和不变的偏移距离(ΔVn)，其中，相邻的分度轨(311.1，...311.9)的偏移距离(ΔVn)不同，从而通过所选择的偏移距离(ΔVn)从扫描信号中滤除不希望的谐波部分，用于滤除k次谐波的分度偏移距离ΔTVk依据下述公式选择：ΔTVk＝+/-(1/2*1/k*TPM/2)其中k＝2，3，5，7，......。