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发明名称 ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS
摘要 Ion sources, systems and methods are disclosed.
申请公布号 WO2007067310(A3) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 WO2006US44338 申请日期 2006.11.15
申请人 ALIS CORPORATION;WARD, BILLY, W.;NOTTE, JOHN, A., IV;FARKAS III, LOUIS, S.;PERCIVAL, RANDALL, G.;HILL, RAYMOND;GROHOLSKI, ALEXANDER;COMUNALE, RICHARD 发明人 WARD, BILLY, W.;NOTTE, JOHN, A., IV;FARKAS III, LOUIS, S.;PERCIVAL, RANDALL, G.;HILL, RAYMOND;GROHOLSKI, ALEXANDER;COMUNALE, RICHARD
分类号 H01J9/02;B81B1/00;G01N23/225;G12B21/02;H01J27/26;H01J37/08;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
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