镧钙锰氧薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种镧钙锰氧薄膜(La_0.67Ca_0.33MnO₃)的制备方法，该方法对镧钙锰氧薄膜采用激光辐照退火；该制备方法由下述步骤组成：清洗基片；将清洗干净的基片进行干燥后置于真空室内的硅板加热器上；抽真空至4×10^-4～4×10^-5Pa；硅板加热器升温至450℃～600℃；同时真空室内真空保持在4×10^-4Pa～4×10^-5Pa；向真空室内充入氧气，使真空室内的流动氧压保持在5～80Pa；利用准分子激光轰击La_0.67Ca_0.33MnO₃靶材；薄膜沉积结束后，硅板在2～5分钟内降至室温；最后激光辐照退火：将制备的薄膜置于旋转平台上，平台以10度～30度/S的转速旋转，在60～240秒之内将激光功率密度逐渐调节到40～50W/cm²，功率密度保持10～300秒后，在120～240秒之内将激光功率密度逐渐降至零。

主权项

1.一种镧钙锰氧薄膜La0.67Ca0.33MnO3的制备方法，其特征在于：对镧钙锰氧薄膜采用激光辐照退火；该制备方法由下述步骤组成：步骤1：清洗基片；将清洗干净的基片进行干燥后置于真空室内的硅板加热器上；步骤2：抽真空至4×10-4～4×10-5Pa；步骤3：硅板加热器升温至450℃～600℃；同时真空室内真空保持在4×10-4Pa～4×10-5Pa；步骤4：向真空室内充入氧气，使真空室内的流动氧压保持在5～80Pa；步骤5：利用准分子激光轰击La0.67Ca0.33MnO3靶材；步骤6：薄膜沉积结束后，硅板在2～5分钟内降至室温；步骤7：激光辐照退火：将制备的薄膜置于旋转平台上，平台以10度～30度/S的转速旋转，在60～240秒之内将激光功率密度逐渐调节到40～50W/cm2，功率密度保持10～300秒后，在120～240秒之内将激光功率密度逐渐降至零。