发明名称 内埋电容元件结构及其制造方法
摘要 本发明是有关于一种内埋电容元件结构及其制造方法。该内埋电容元件结构包括:介电层、第一导电层、第二导电层、第一嵌板以及第二嵌板。其中介电层具有一厚度。第一导电层位于介电层的一侧,且具有第一电性。第二导电层位于介电层上相对于第一导电层的另一侧,且具有第二电性。第一嵌板嵌设于介电层之中,与第一导电层电性连结。第二嵌板嵌设于介电层之中,与第二导电层电性连结,且与第一嵌板相距有一段距离。
申请公布号 CN101141849A 申请公布日期 2008.03.12
申请号 CN200710164048.6 申请日期 2007.10.11
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 王永辉;欧英德;洪志斌
分类号 H05K1/16(2006.01);H01L23/498(2006.01);H01L21/48(2006.01) 主分类号 H05K1/16(2006.01)
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿宁;张华辉
主权项 1.一种内埋电容元件结构,其特征在于包括:一介电层,具有一厚度;一第一导电层,位于该介电层的一侧,其中该第一导电层具有一第一电性;一第二导电层,位于该介电层上相对于该第一导电层的另一侧,其中该第二导电层具有一第二电性;一第一嵌板,嵌设于该介电层之中,与该第一导电层电性连结;以及一第二嵌板,嵌设于该介电层之中,与该第二导电层电性连结,且与该第一嵌板相距有一距离。
地址 中国台湾高雄市